PGI 輪廓儀關鍵技術亮點
混合測量技術
非接觸式白光干涉(WLI):適用于超光滑表面(如光學鏡片、半導體晶圓),避免劃傷樣品。
接觸式探針掃描:適用于高陡度、深溝槽或高粗糙度表面(如軸承滾道、噴油嘴),確保形貌完整性。
高分辨率 Z 軸光柵傳感器:垂直分辨率高達 0.1 nm(部分資料中提到系統垂直分辨力可達 0.01 nm,通常指在理想條件下的噪聲水平或重復性指標)。
計量性能
線性度誤差:±0.1%,確保大范圍測量中的準確性。
重復性:< 0.5%,提升批量檢測的一致性與可靠性。
動態范圍廣:從亞納米級粗糙度(Ra < 0.1 nm)到數十微米級粗糙表面均可覆蓋。
型號與應用場景
PGI 420 / 820 / 1220:針對不同尺寸軸承的專用配置,行程與載重能力逐級提升。
PGI NOVUS:
Z 向量程達 20 mm,
垂直分辨率 0.2 μm(注:此處應為 0.2 nm 更符合技術邏輯,若原文確為 μm,可能指特定模式下的工程分辨率),
支持多參數測量:表面粗糙度(Ra, Rz 等)、圓度、直徑、錐角、輪廓偏差等,廣泛用于汽車、航空航天、精密制造領域。
TalyMap® 軟件平臺
符合 ISO 4287、ISO 25178、ASME B46.1 等國際標準;
提供 200+ 表面參數(包括傳統 2D 參數與先進 3D 功能參數);
支持 3D 形貌重建、濾波、自動報告生成、SPC 統計分析 等功能。
蘇公網安備32021402002648